Работа посвящена созданию виртуального прибора в среде LabVIEW, позволяющего моделировать процесс зонной плавки в зависимости от технологических параметров. Рассматриваются методы очистки и выращивания монокристаллов путем медленного перемещения узкой зоны расплава по длине поликристаллического слитка твердого материала, в результате чего благодаря перекристаллизации происходит перераспределение примесей, растворенных в слитке. Окончательное распределение примесей зависит от их первоначального распределения, числа и ширины зон расплава и направления их движения. Виртуальный прибор предназначен для использования студентами и преподавателями в условиях дистанционного обучения и в очном режиме. С. 19–31.
The work is devoted to the creation of a virtual device in the LabVIEW environment, which allows simulating the process of zone melting depending on technological parameters. Methods for cleaning and growing single crystals by slowly moving a narrow melt zone along the length of a polycrystalline ingot of a solid material are considered, as a result of which, due to recrystallization, the impurities dissolved in the ingot are redistributed. The final distribution of impurities depends on their initial distribution, the number and width of the melt zones, and the direction of their movement. The virtual device is intended for use by students and teachers in distance learning and face-to-face mode.
Ключевые слова: метод зонной плавки, метод зонной очистки, метод целевой загрузки, распределение примеси, полупроводниковый монокристалл, среда программирования LabVIEW.
Keywords: zone melting method, zone cleaning method, target loading method, impurity distribution, semiconductor single crystal, LabVIEW programming environment.